Journal of Vacuum Science and Technology
Journal of vacuum science and technology

ISSN: 0734-211X

• Vol. 17 (1999) -:
  • Journal of Vacuum Science and Technology (JVST) B: Nanotechnology and Microelectronics: Online-Zugang über aip.org
  • Hinweise zu Zugangs- und Nutzungsbedingungen

• Nachweis in der Elektronischen Zeitschriftenbibliothek (EZB)

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  Journal of vacuum science and technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics. B, Nanotechnology & microelectronics.
  in Duisburg: D30/67 Z 23, 2.Ser. 1.1983 - 28.2010

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